Main Backplane Board
모든 하위 모듈과 Channel Control Unit을 연결하는 시스템 Backbone으로, 중앙 처리와 통신 허브 역할을 합니다.
SYSTEM ARCHITECTURE
Main-Fab과 Sub-Fab을 연결하는 안전 제어 구조
PBIC는 Process Chamber, Protection Gate Valve, Solenoid Block, Dry Pump, Local/Remote Controller를 연결해 공정 장비 상태를 감시하고 비정상 조건에서 보호 동작을 수행합니다.
Main-FabProcess Chamber / PGV
Sub-Fab ControlPBIC Controller
UtilityDry Pump / CDA / N2
SIGNAL FLOW
전기 신호를 공압 동작과 보호 로직으로 변환합니다
| PBIC → Solenoid Block | Slow Pumping #1/#2 Air, Open Air, Close Air, Up Air 신호를 출력해 PGV 구동 메커니즘을 작동합니다. |
|---|---|
| PGV Sensors → PBIC | Open/Close 위치 센서, 동작 센서, Protection Ring 상태를 확인해 다음 단계 진행 여부를 판단합니다. |
| Dry Pump → PBIC | PumpFail Signal과 ACT 전류 상태를 감지해 Pump Stop 또는 Auto Close 판단에 반영합니다. |
| Local / Remote | 현장 조작과 상위 설비 명령을 분리하고, REMOTE 모드에서는 Safety Lock 기준으로 권한을 제한합니다. |
Channel Control Unit
각 PGV 채널을 독립적으로 제어해 단일 채널 이상이 전체 생산 라인에 미치는 영향을 줄입니다.
Solenoid Block
PBIC의 전기적 제어 신호를 공압 신호로 변환해 Slow Pumping, Open, Close, Ring Up 동작을 수행합니다.