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PBIC Controller, PGV를 단순 개폐 장치가 아닌 공정 보호 시스템으로 바꿉니다

PBIC(Process Bridge Interface Controller)는 반도체 진공 공정에서 Process Chamber와 Dry Pump 사이의 Protection Gate Valve를 정밀 제어해 Particle 유입, Pump Trip, Valve Fail, CDA Low 같은 리스크를 관리합니다.

시스템 구조 보기PBIC 적용 문의
PBIC

PRODUCT OVERVIEW

Pump Fail과 Particle Stir-up을 줄이는 지능형 PGV 제어

기존 ON/OFF 방식의 밸브 제어는 급격한 압력 변화, 마찰 Particle 유입, Pump 이상 시 빠른 격리 실패 같은 한계를 가질 수 있습니다. PBIC는 센서와 인터락을 기반으로 단계별 구동 시퀀스를 실행해 챔버를 보호하고 생산 라인의 가동률과 최종 수율에 영향을 주는 공정 리스크를 줄입니다.

Lineup1CH / 4CH / 6CH
ResponseClose response < 0.3 sec
LogOperation / Alarm / Signal 200+
OptionCE / SEMI S2 대응 옵션

LINEUP

장비 구성에 맞춰 선택하는 PBIC 라인업

PBIC-1CH

단일 공정 챔버에 1:1로 대응하는 최소 단위 PGV 제어 모델입니다.

  • 소규모 R&D 설비, Pilot Line, 단일 챔버 장비에 적합
  • Pump Fail, EMO, Power Vaccine, Auto/Safety Lock 탑재
  • 208VAC 단상, 0.3kW 이하 / N2 또는 CDA 적용

PBIC-4CH

주력 모델로 복수 챔버의 PGV를 독립적으로 제어합니다.

  • 4개 채널 구성, 확장 카드 슬롯 제공
  • 2-Step Soft Pumping, Auto Close, Local/Remote 제어
  • Main CPU Board, I/O Board, Sensor Interface Board 기반

PBIC-6CH

최대 6개 챔버를 동시에 모니터링하고 통합 관리하는 Rack-mount형 구성입니다.

  • Main Comm. Controller 1기와 최대 6개 Channel Control Unit
  • RS-485 ISP 통신, Temp Control RS-422 인터페이스
  • KE/TEL 연동 지원, CE/SEMI S2 옵션

CONTROL SEQUENCE

센서 확인 후 다음 단계로 넘어가는 7-Step Driving Process

PBIC는 Open 명령 하나를 단순 출력으로 처리하지 않고, 각 단계의 완료 조건을 센서로 확인한 뒤 다음 동작을 수행합니다.

  1. Standby & Signal Check개방 신호 입력 전 전체 센서와 시스템 상태를 자가 진단합니다.
  2. Initial Unlock밸브의 물리적 잠금 상태를 해제하고 위치 센서로 준비 상태를 확인합니다.
  3. Protection Ring Deployment밸브 본체 동작 전에 Protection Ring을 선행 전개해 기계적 마찰 Particle 유입을 줄입니다.
  4. 1st Stage Slow PumpingSlow Pumping #1, #2를 열어 초기 차압을 완화합니다.
  5. 2nd Stage Pressure EqualizationSlow Pumping #2 단독 제어로 최종 압력 평형을 유도합니다.
  6. Full Stroke Opening압력 평형 확인 후 Main Gate를 완전 개방합니다.
  7. Final Locked & Feedback개방 완료 상태를 Main Controller에 보고하고 다음 공정 조건을 대기합니다.

CORE FUNCTIONS

운영 화면과 알람까지 포함한 현장형 제어 기능

OPEN / CLOSE

OPEN은 7-Step Valve Open Sequence를 실행하고, CLOSE는 Protection Ring Down, Gate Close, Ring Up 순서의 고속 차단 시퀀스를 수행합니다. Pump Trip 수신 시 AUTO 모드에서 즉시 Close가 실행됩니다.

LOCAL / REMOTE Mode

LOCAL에서는 본체 패널에서 직접 조작하고, REMOTE에서는 상위 설비 Host 또는 Remote Remocon 신호에 따라 운전합니다. Safety Lock으로 권한을 분리합니다.

Record & Export

OPEN/CLOSE 명령, 명령 출처, 완료 여부, Pump Fail 입력, 인터락 변화, 알람 발생/해제 이력을 200개 이상 FIFO 방식으로 기록하고 외부 출력 포트를 통한 데이터 추출을 지원합니다.

SPECIFICATION

주요 사양과 제어 신호

Power / Air208VAC 단상, 0.3kW 이하. N2 또는 CDA 공급, 최소 4.0kg/cm² 기준.
Control SignalSlow Pumping #1 Air, Slow Pumping #2 Air, Open Air, Close Air, Up Air, Pump Fail Signal, Interlock, Local/Remote 명령 입력.
Sensor InterfaceOpen 위치 센서, Close 위치 센서, 동작 센서, 진공 압력, ACT 전류, CDA 상태를 기반으로 단계 진행 여부를 확인.
ParameterSlow Pump 1/2 Time, Closing Time, ACT Limit High/Low, Gate Valve Model, Chamber Name 등을 장비별로 설정.
AlarmPump Stop, Valve Fail, CDA Low, Power Fail(208VAC), Interlock 알람 표시 및 원인 확인 가이드 제공.

APPLICATION CHECK

현재 PGV, Pump, Chamber 구성에 맞는 모델을 검토하세요

장비 모델, 챔버 수, Dry Pump 구성, PGV 모델, 현재 알람 증상, Local/Remote 운전 방식만 공유해도 1차 적용 가능성을 검토할 수 있습니다.

PBIC 적용 상담