PBIC Controller
Protection Gate Valve를 정밀 제어해 진공 공정에서 Particle 유입을 줄이고, Pump Trip 또는 Pump Fail 상황에서 Chamber를 빠르게 보호합니다. 7-Step 구동, 2-Step Slow Pumping, Auto Close, Operation/Alarm/Signal Log를 포함합니다.
BUSINESS
반도체 장비의 노후화, 단종, 공정 리스크를 엔지니어링 과제로 해결합니다
OASIS는 회로 설계, PCB 제작, Controller 개발, 장비 Modify, Parts/Cable 국산화, 장비 프로그램 개발을 하나의 기술 범위로 연결해 생산 라인의 가동률과 안정성을 높입니다.
2002반도체 Modify와 FA 장비 엔지니어링 기반
H/W+S/W회로, 펌웨어, 장비 프로그램, 기구/전장 통합 대응
PCB단종 보드 회로 추출, 설계, 제작, 테스트 프로그램 개발
FabMain-Fab과 Sub-Fab 운전 조건을 고려한 현장 맞춤 설계
SERVICE LINEUP
단순 납품이 아니라 원인 분석부터 적용까지 이어지는 사업 영역
첨부 자료의 사업 범위와 제품 사례를 기준으로, OASIS가 실제로 수행하는 업무를 네 개의 실행 단위로 정리했습니다.
제품 상세
Equipment Modify & Retrofit
AMAT, Novellus, Mattson, Nikon 등 노후 장비의 성능 저하와 단종 문제를 분석해 Throughput, Uptime, Particle, Safety, UI 운용성을 개선합니다. Robot, Actuator, Handler, Monitor, Pneumatic Controller, Mapping Controller 개선이 포함됩니다.
PCB Localization
단종되거나 수급이 어려운 장비 PCB를 회로 추출, PCB 설계, 시제품 제작, Signal Simulation, Test Program 개발까지 진행합니다. Motor Driver, Interlock Board, Sensor Amp, IOC Analog/Digital I/O Board, Chamber Interface 계열에 대응합니다.
Parts, Cable & Sourcing
Legacy Parts 대체품 개발, Cable/Harness 국산화, Sensor, Motor, Motion Controller, AC Power Connector, Cass Sensor, Wafer Detector, Hot N2 Controller 등 현장 부품 수급 리스크를 낮춥니다.
REFERENCE CASES
회사소개서 기반 주요 적용 사례
Producer Chamber Lift RF Filter
- PCB 국산화 및 AC Power 전용 Connector 적용
- +12VDC Fan 장착으로 Cooling 효과 개선
- Hynix M7/M8/9, Samsung 9Line 적용 사례
LCD Touch Monitor & Light Pen
- CRT Monitor와 Light Pen 대체용 LCD Touch Monitor 개발
- 협소한 Rack 환경과 Maintenance 공간 문제 대응
- Safety Enter 기능을 적용해 안정적 Operation 지원
Concept-1 Robot Retrofit
- 노후 Robot Motor와 Driver 개선
- 소음과 진동을 줄이고 Torque를 강화
- Z Motor, Motor Power Supply, OEM750 Driver 구성
Aspen II Mapping Controller
- Mapping Error 원인인 기계식 접촉 방식을 Encoder 방식으로 개선
- 장비 요소 변경 없이 Mapping 안정성 확보
- Calibration 시간을 3시간에서 0.5시간 수준으로 단축
Stepper Pneumatic Controller
- 단종된 공압 제어 유닛과 PCB 신규 제작
- Pneumatic Control Unit 국산화
- Hynix-ST, Hynix M8/9 적용 사례
PCB / Cable / Parts Localization
- Motor Driver Interface, SMIF Interlock, Loadlock Interlock Board 등 PCB 국산화
- Robot 전용 Harness Material 교체로 굴곡성 개선
- Wafer Detector, Cass Sensor Kit, Pump Controller, Hot N2 Controller 등 부품 개발
WORKFLOW
문제 정의에서 납품 후 안정화까지
Fab 환경과 장비 조건을 먼저 이해한 뒤, 필요한 수준만 변경하는 방식으로 리스크와 다운타임을 줄입니다.
- Issue Mapping장비명, 공정 조건, 알람 코드, 반복 불량, 부품 단종 여부를 확인합니다.
- Engineering Review제어 신호, PCB 회로, 공압 라인, 인터락, 센서 조건을 분석해 개선 범위를 정의합니다.
- Prototype & Simulation회로 설계, 시제품 제작, Signal Simulation, Test Program으로 현장 적용 전 기능을 검증합니다.
- Install & Stabilize설치, 전장 작업, 운전 로그 확인, Alarm 대응 가이드를 통해 운영 안정화를 지원합니다.
BUSINESS REVIEW
현재 겪는 장비 문제를 사업 영역에 맞춰 검토해보세요
PBIC, Modify, PCB, Parts 중 어디에 해당하는지 명확하지 않아도 괜찮습니다. 증상과 장비 조건을 기준으로 검토 범위를 함께 좁힙니다.